薄膜工学ハンドブック

薄膜工学を解説したハンドブック。第２章で薄膜物性、第３章で薄膜成長に関わる基礎的側面から薄膜工学を捉え、第５章ではこれまでに培われてきた重要かつ基本的な薄膜作製技術の技術的側面から薄膜工学を捉えて、縦と横の両面から最新のデータを用いながら系統的に整理することを試みた。科学的側面として今後可能性が期待される薄膜成長のコンピュータシミュレーションに関しては、第４章に基礎理論から計算結果に至るまで十分紙面を割いて詳細に解説し、他に類をみない特徴とした。最後に、第６章で、応用上、重要と思われる精選された薄膜材料の成長技術について、それぞれ第一線で活躍中の代表的研究者が最新のデータに基づいて最先端技術を紹介し、薄膜技術の総仕上げとした。