機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空、プラズマ、薄膜、エッチング加工およびフォトリソグラフィーについて、その物理・化学の基本原理を解説する。とくに、集積回路、記憶媒体、液晶ディスプレイ、マイクロマシンなど先端精密機器を製造する上で欠かせない薄膜ドライプロセッシングに主眼を置いている。 第1章　超微細加工技術とは 第2章　真空と気体分子運動論 第3章　プラズマの基礎 第4章　物理蒸着法（PVD） 第5章　薄膜の形成過程 第6章　エッチング 第7章　フォトリソグラフィ 付録A　基礎定数表と真空の単位 付録B　材料の科学についてのノート 付録C　分布関数とマックスウェルーボルツマン分布 付録D　対数目盛と対数グラフ