ICのひみつ

テクノ・アプローチ

傳田　精一

1984年1月1日

共立出版

2,200円（税込）

科学・技術

IC、LSI、超LSIの構造や動作原理をはじめ、その最新技術を一般の人にもわかるように平易に解説。 1．ICはなぜ動く 2．ICはなぜ小さいのか 3．シリコン単結晶 4．表面のはたらき 5．不純物拡散 6．エピタキシャル成長 7．CVD技術 8．フォトエッチングの驚異 9．ミクロへの挑戦 10．マスクアイライナー 11．フォトマスク 12．フォトレジスト 13．電子ビーム露光 14．イオン注入技術 15．ドライエッチング 16．クリーンルームと純水 17．ワイヤボンデング 18．パッケージ 19．ICの弱点 20．ICの信頼性 21．メモリ 22．ハイブリッドIC 23．ICのはたらき

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