半導体工場のすべて
設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで
菊地正典
2012年8月31日
ダイヤモンド社
2,420円（税込）
ビジネス・経済・就職 / 科学・技術
半導体は先端技術製品であると同時に、それを作る半導体工場も先端的な技術やノウハウ、システムの凝縮された「優れた物づくりの場」でもある。「物づくり」の英知を継ぐ、日本の半導体を４０年支えた第一人者による決定版。
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