半導体製造装置用語辞典第4版
日本半導体製造装置協会
1997年11月30日
日刊工業新聞社
5,060円(税込)
科学・技術
半導体デバイスを製造する7つの行程順に用語を分類、用語の追加、削除、統合を行い、2612語を収録した用語辞典。巻末に略語・日本語索引、英語索引が付く。
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