LIGAプロセス

進展する三次元超微細加工技術

先端加工機械技術振興協会

1998年8月31日

日刊工業新聞社

6,160円(税込)

科学・技術

本書は、LIGA技術の入門から応用に至る一連の技術の流れを、専門の研究者・技術者だけでなく、初心の読者にもわかりやすく解説している。第1章では、LIGA技術の原理と歴史的変遷、そして現状の概要が紹介され、第2章では、LIGA技術による実際の製作工程と、要素技術が解説されている。第3章では、試作事例として、幾つかの実際に試作された応用例が紹介され、第4章では、国内外の状況として、国内および海外におけるLIGA関連施設、ならびに活動の状況が報告されている。第5章では、今後の展望ということで、LIGA技術の経済性と市場性の将来展望と、LIGA技術に関するアンケート調査の結果が紹介されている。

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