半導体材料工学

材料とデバイスをつなぐ

材料学シリーズ

大貫仁

2004年11月30日

内田老鶴圃

4,180円(税込)

科学・技術

本書は、半導体デバイス動作の基礎、およびデバイスに使用される材料ならびにそのプロセス技術について材料科学的に取り扱っている。

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