初歩から学ぶ機能水

医療、食品、農業など、さまざまな分野で機能水が注目され始めている。中でも、半導体洗浄においては、一部システムに組み込まれ、研究開発も進んでいる。本書では、地球環境の保全が重要な課題となる昨今、あらたな可能性を秘めた機能水を幅広く取り上げ、さまざまな洗浄技術の改善に役立つ入門書を目指す。