薄膜材料入門

“先端材料”として今後の薄膜を考える立場で、薄膜材料と材料製造技術としての製膜技術を取り上げ、これらの現状および将来の展望についてわかりやすく説明し、この分野にあまり関わりがなかった人たちも興味を持てるよう心がけた。 序章 1．材料としての薄膜 2．材料開発ならびに材料作製技術としての薄膜技術 3．表面改質膜材料 4．機能膜材料 5．金属薄膜材料 6．無機・セラミック薄膜材料 7．有機・ポリマー薄膜材料 8．半導体薄膜材料 9．薄膜材料のキャラクタリゼーション 10．薄膜材料の物性測定