ナノインプリント技術

松井真二 / 平井義彦

2014年3月31日

電子情報通信学会

4,840円(税込)

科学・技術

ナノインプリントの基礎とともに現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく解説。実際にナノインプリント技術に取り組む際に参考になる最新の研究成果を網羅している。

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