VLSI工学（製造プロセス編）
電子情報通信レクチャーシリーズ
角南英夫
2006年8月31日
コロナ社
3,630円（税込）
科学・技術
半導体はエレクトロニクス全般の中心的な役割を果たし、一層の拡大が期待される。本書は、半導体市場で大きな役割を占めるＳｉＬＳＩの製造プロセスについて、個別の要素プロセスの位置付けと関連する課題に重点を置いて解説した。
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