
半導体立国
製造装置の明日を語る
日本半導体製造装置協会
1996年11月30日
日刊工業新聞社
2,750円(税込)
科学・技術
本書は、単に特定の業界の内幕話ではなく、半導体という先端技術産業の今後の進展を占う、生きた素材を提供している。
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