半導体デバイス第2版
基礎理論とプロセス技術
S．M．シー / 南日康夫
2004年3月30日
産業図書
7,260円（税込）
科学・技術
本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。
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